根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
*1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
*二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
*三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为较1主要的净化设计方案。
环保和节能一直都是各个行业生产和开发侧重的目标,无尘净化车间建设长期以来注重的都是室内的清洁,净化车间装修,往往忽略了节能和对外界的环保概念。
随着无尘净化车间产业的渐渐壮大,净化车间,各个厂家开始将目光转向节能环保的目标,各种措施和手段也开始渐渐实施。
从无尘净化车间的设计来说,各个厂家已经开始注重从车间的样式设计开始考虑对能源的节约。只要特点为降低外墙的建筑面积、采用隔热性能和密封性能较好的建筑材料。这些措施从节流的方面做到了节能的效果。
其次,对于无尘净化车间整体面积的缩小也开始实施。整体建设面积的变小使得室内的送风换气量出现明显的下降,既满足了室内洁净度更高的要求,也达到了节能减排的效果。既注重了无尘净化车间本身的节能,也估计了对外界环境的环保。
01
车间内气流一定要均匀地来回送风排风
02
必须注意气流的输送量和风速。充分通风可以消除无尘生产车间的空气污染。
03
无尘生产车间内的温湿度要控制好,防止因温湿度影响产品的生产和质量
04
无尘生产车间必须保持一定的正压,以保证无尘生产车间不受污染物的影响。